书目信息 |
| 题名： |
微机电系统设计与制造
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| 作者： | 刘晓明 ， 朱钟淦 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 国防工业出版社 2006 |
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| 页数： | 371页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | 研究生系列规划教材 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TH-39 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 微电机--wei dian ji--高等学校--教材 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 7-118-04121-1 | |
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| 312 | @a英文并列题名取自封面 | |
| 320 | @a有书目 (第369-371页)。 | |
| 330 | @a本书内容包括：工程技术的三要素，MEMS的概述，MEMS的原理设计，MEMS制造技术，MEMS的设计，系统设计方法，接口设计等。 | |
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| 微机电系统设计与制造/刘晓明, 朱钟淦编著.-北京：国防工业出版社，2006 |
| 371页：图；24cm.-(研究生系列规划教材) |
| 电子科技大学研究生系列教材建设项目 |
| ISBN 7-118-04121-1：CNY32.00 |
| 本书内容包括：工程技术的三要素，MEMS的概述，MEMS的原理设计，MEMS制造技术，MEMS的设计，系统设计方法，接口设计等。 |
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| 相关链接 |
正题名：微机电系统设计与制造
索取号：TH-39/18
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| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 0966089 | 209660892 | 样本书库/4110440204/ [索取号:TH-39/18] | 在馆 | |
| 2 | 0966090 | 209660909 | 理科库/3110910303/ [索取号:TH-39/18] | 在馆 | |
| 3 | 0966091 | 209660918 | 理科库/3110910303/ [索取号:TH-39/18] | 在馆 |