书目信息 |
| 题名： |
微纳米测量技术
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| 作者： | 王伯雄 ， 陈非凡 ， 董瑛 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 清华大学出版社 2006.08 |
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| 页数： | 223页 | |
| 开本： | 23cm | |
| 丛书名： | 清华大学微机电系统工程系列教材 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | P2 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 纳米材料--Na Mi Cai Liao--应用--测量--高等学校--教材 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 7-302-13063-9 | |
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| 330 | @a本书讲述了微纳米测量技术的基本理论和方法、微纳米测量系统的工作原理及构成以及对不同物理量的微纳米测量应用。全书共4章，内容包括：微纳米测量技术的意义、特点和研究的内容；微型传感器的工作原理及其典型应用；微纳米测量技术巾的光学方法，光学测量系统的结构及应用；微纳米尺度的几何量、表面粗糙度、表面微观形貌、MEMS材料机械特性、微应力和微应变、微位移、速度和加速度、振动、声和超声等典型物理量的测量技术应用。 | |
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| 微纳米测量技术= Metrology for micro- and nanotechnology/王伯雄,陈非凡,董瑛编著.-北京：清华大学出版社，2006.08 |
| 223页：图；23cm.-(清华大学微机电系统工程系列教材) |
| ISBN 7-302-13063-9：CNY24.00 |
| 本书讲述了微纳米测量技术的基本理论和方法、微纳米测量系统的工作原理及构成以及对不同物理量的微纳米测量应用。全书共4章，内容包括：微纳米测量技术的意义、特点和研究的内容；微型传感器的工作原理及其典型应用；微纳米测量技术巾的光学方法，光学测量系统的结构及应用；微纳米尺度的几何量、表面粗糙度、表面微观形貌、MEMS材料机械特性、微应力和微应变、微位移、速度和加速度、振动、声和超声等典型物理量的测量技术应用。 |
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| 相关链接 |
正题名：微纳米测量技术
索取号：P2/10
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
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| 2 | 1160376 | 211603763 | 理科库/3111720406/ [索取号:P2/10] | 在馆 | |
| 3 | 1160377 | 211603772 | 理科库/ [索取号:P2/10] | 在馆 | |
| 4 | 1160378 | 211603781 | 理科库/3111720406/ [索取号:P2/10] | 在馆 | |
| 5 | 1160379 | 211603790 | 理科库/3111720406/ [索取号:P2/10] | 在馆 |