书目信息 |
| 题名： |
微机电系统（MEMS）制造技术
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| 作者： | 乔大勇 ， 苑伟政 著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 科学出版社 2014 |
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| 页数： | 240页 | |
| 开本： | 25cm | |
| 丛书名： | 微纳制造的基础研究学术著作丛书 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TM380.5 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 微机电--生产工艺 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-03-039974-8 | |
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| 225 | 1 | @a微纳制造的基础研究学术著作丛书@f卢秉恒主编 |
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| 330 | @a本书共9章，分别介绍了MEMS制造技术发展历程和发展趋势、MEMS制造材料基础、MEMS制造中的沾污及洁净技术、MEMS制造中的图形转移技术、湿法腐蚀与干法刻蚀技术、氧化扩散与注入、薄膜制备技术、MEMS标准工艺和MEMS封装技术。 | |
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| 微机电系统（MEMS）制造技术/苑伟政，乔大勇著.-北京：科学出版社，2014 |
| 240页：图；25cm.-(微纳制造的基础研究学术著作丛书/卢秉恒主编) |
| 国家科学技术学术著作出版基金资助出版 |
| ISBN 978-7-03-039974-8(精装)：CNY88.00 |
| 本书共9章，分别介绍了MEMS制造技术发展历程和发展趋势、MEMS制造材料基础、MEMS制造中的沾污及洁净技术、MEMS制造中的图形转移技术、湿法腐蚀与干法刻蚀技术、氧化扩散与注入、薄膜制备技术、MEMS标准工艺和MEMS封装技术。 |
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| 相关链接 |
正题名：微机电系统(MEMS)制造技术
索取号：TM380.5/1
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1534851 | 215348513 | 样本书库/4110460303/ [索取号:TM380.5/1] | 在馆 | |
| 2 | 1534852 | 215348522 | 理科库/3110810404/ [索取号:TM380.5/1] | 在馆 | |
| 3 | 1534853 | 215348531 | 理科库/3110810404/ [索取号:TM380.5/1] | 在馆 |