书目信息 |
| 题名： |
微系统光学检测技术
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| 作者： | 奥斯腾 主编 ；王伯雄 译 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 机械工业出版社 2014 |
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| 页数： | 16,442页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | 国际制造业先进技术译丛 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TB96 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 微电子技术--光学测量 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-111-45837-1 | |
| 000 | 01354oam2 2200289 450 | |
| 001 | 1534348766 | |
| 005 | 20150326093306.85 | |
| 010 | @a978-7-111-45837-1@dCNY95.00 | |
| 049 | @aA320000JSL@bUCS01006959640@c006959640 | |
| 100 | @a20140910d2014 em y0chiy0110 ea | |
| 101 | 1 | @achi@cger |
| 102 | @aCN@b110000 | |
| 105 | @aa z 000yy | |
| 200 | 1 | @a微系统光学检测技术@9wei xi tong guang xue jian ce ji shu@b专著@f(德)伏尔夫岗·奥斯腾主编@g王伯雄等译 |
| 210 | @a北京@c机械工业出版社@d2014 | |
| 215 | @a16,442页@c图@d24cm | |
| 225 | 2 | @a国际制造业先进技术译丛 |
| 312 | @a封面英文题名：Optical inspection of microsystems | |
| 330 | @a微系统的尺度小，材料组合性强，功能多，对它的测量与检测构成了该领域新的挑战。书中将检测技术原理与众多应用实例相结合，介绍了微系统检测的应用光学技术，主要提供该领域中典型光学检测技术的全面回顾，包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术、全息术、散斑测量术及光谱技术，同时还详述了上述技术相关数据的获取和处理方法。 | |
| 461 | 0 | @12001 @a国际制造业先进技术译丛 |
| 510 | 1 | @aOptical inspection of microsystems@zeng |
| 606 | 0 | @a微电子技术@x光学测量 |
| 690 | @aTB96@v5 | |
| 701 | 0 | @c(德)@a奥斯腾@9ao si teng@c(Osten, Wolfgang)@4主编 |
| 702 | 0 | @a王伯雄@9wang bo xiong@f(1947-)@4译 |
| 801 | 0 | @aCN@bNJLIB@c20141009 |
| 905 | @a241250@dTB96@e1 | |
| 微系统光学检测技术/(德)伏尔夫岗·奥斯腾主编/王伯雄等译.-北京：机械工业出版社，2014 |
| 16,442页：图；24cm.-(国际制造业先进技术译丛) |
| ISBN 978-7-111-45837-1：CNY95.00 |
| 微系统的尺度小，材料组合性强，功能多，对它的测量与检测构成了该领域新的挑战。书中将检测技术原理与众多应用实例相结合，介绍了微系统检测的应用光学技术，主要提供该领域中典型光学检测技术的全面回顾，包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术、全息术、散斑测量术及光谱技术，同时还详述了上述技术相关数据的获取和处理方法。 |
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| 相关链接 |
正题名：微系统光学检测技术
索取号：TB96/1
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1610392 | 216103927 | 样本书库/4110430404/ [索取号:TB96/1] | 在馆 | |
| 2 | 1610393 | 216103936 | 理科库/3110920101/ [索取号:TB96/1] | 在馆 | |
| 3 | 1610394 | 216103945 | 理科库/3110920101/ [索取号:TB96/1] | 在馆 |