书目信息 |
题名: |
基于机械-化学方法的微纳制造技术
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作者: | 史立秋 著 | |
分册: | ||
出版信息: | 北京 电子工业出版社 2014 |
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页数: | 93页 | |
开本: | 24cm | |
丛书名: | ||
单 册: | ||
中图分类: | TN304.1 | |
科图分类: | ||
主题词: | 半导体材料--纳米材料--硅--生产工艺 | |
电子资源: | ||
ISBN: | 978-7-121-23712-6 |
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基于机械-化学方法的微纳制造技术/史立秋著.-北京:电子工业出版社,2014 |
93页:图;24cm |
国家自然科学基金资助出版 2014年度黑龙江省高校新世纪优秀人才支持计划 国家自然科学基金资助项目 |
ISBN 978-7-121-23712-6:CNY39.80 |
本书针对“如何方便、可控地在单晶硅表面设计和构筑具有特定功能和特性的跨尺度微/纳复合结构”,提出了“基于机械-化学方法的硅表面功能性微纳结构制造新方法”这一前沿性课题。全书共6章,叙述了应用机械-化学方法在硅表面制造功能性微纳结构的全过程及其表征与分析,并对后期的应用进行了系统的研究。 |
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正题名:基于机械-化学方法的微纳制造技术
索取号:TN304.1/1
 
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1 | 1669637 | 216696378 | 样本书库/4110480204/ [索取号:TN304.1/1] | 在馆 | |
2 | 1669638 | 216696387 | 理科库/3111380303/ [索取号:TN304.1/1] | 在馆 | |
3 | 1669639 | 216696396 | 理科库/3111380303/ [索取号:TN304.1/1] | 在馆 |