书目信息 |
| 题名： |
基于机械-化学方法的微纳制造技术
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| 作者： | 史立秋 著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 电子工业出版社 2014 |
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| 页数： | 93页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN304.1 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 半导体材料--纳米材料--硅--生产工艺 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-121-23712-6 | |
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| 基于机械-化学方法的微纳制造技术/史立秋著.-北京：电子工业出版社，2014 |
| 93页：图；24cm |
| 国家自然科学基金资助出版 2014年度黑龙江省高校新世纪优秀人才支持计划 国家自然科学基金资助项目 |
| ISBN 978-7-121-23712-6：CNY39.80 |
| 本书针对“如何方便、可控地在单晶硅表面设计和构筑具有特定功能和特性的跨尺度微/纳复合结构”，提出了“基于机械-化学方法的硅表面功能性微纳结构制造新方法”这一前沿性课题。全书共6章，叙述了应用机械-化学方法在硅表面制造功能性微纳结构的全过程及其表征与分析，并对后期的应用进行了系统的研究。 |
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正题名：基于机械-化学方法的微纳制造技术
索取号：TN304.1/1
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| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1669637 | 216696378 | 样本书库/4110480204/ [索取号:TN304.1/1] | 在馆 | |
| 2 | 1669638 | 216696387 | 理科库/3111380303/ [索取号:TN304.1/1] | 在馆 | |
| 3 | 1669639 | 216696396 | 理科库/3111380303/ [索取号:TN304.1/1] | 在馆 |