书目信息 |
| 题名： |
半导体光谱测试方法与技术
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| 作者： | 张永刚 ， 顾溢 ， 马英杰 著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 科学出版社 2016 |
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| 页数： | 331页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | 半导体科学与技术丛书 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | O472 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 半导体--光谱分析 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-03-047222-9 | |
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| 半导体光谱测试方法与技术/张永刚，顾溢，马英杰著.-北京：科学出版社，2016 |
| 331页：图；24cm.-(半导体科学与技术丛书) |
| ISBN 978-7-03-047222-9(精装)：CNY128.00 |
| 本书在回顾光谱学和光谱仪器的发展过程后，对半导体中涉及的主要光学过程以及半导体材料、器件及应用研究中需要哪些光谱分析手段和方法作了简要介绍，然后以分光(色散)和傅里叶变换两种方法为基础讨论了光谱分析的基本原理、测试仪器、关键部件、系统构成以及限制因素等，并结合一系列测量实例对吸收谱类、光电谱类和发射谱类测量方法与技术及相关细节进行了详细说明。 |
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正题名：半导体光谱测试方法与技术
索取号：O472/4
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