书目信息 |
| 题名： |
集成电路制造技术
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| 作者： | 杜中一 著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 化学工业出版社 2016 |
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| 页数： | 172页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN405 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 集成电路工艺 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-122-26284-4 | |
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| 集成电路制造技术/杜中一著.-北京：化学工业出版社，2016 |
| 172页：图；24cm |
| ISBN 978-7-122-26284-4：CNY35.00 |
| 本书全面、系统地介绍了集成电路制造技术，内容包括集成电路制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、光刻、刻蚀及掺杂。本书简要介绍了集成电路制造的基本理论基础，系统介绍了多晶半导体、单晶半导体与晶圆的制备，详细介绍了薄膜制备、光刻与刻蚀及掺杂等工艺。 |
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正题名：集成电路制造技术
索取号：TN405/6
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| 2 | 1679894 | 216798945 | 理科库/3111370104/ [索取号:TN405/6] | 在馆 | |
| 3 | 1679895 | 216798954 | 理科库/3111370104/ [索取号:TN405/6] | 在馆 |