书目信息 |
| 题名： |
半导体薄膜技术与物理
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| 作者： | 叶志镇 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 杭州 浙江大学出版社 2014 |
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| 页数： | 237页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN304.055 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 半导体膜--薄膜技术--高等教育--教材 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-308-13910-6 | |
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| 半导体薄膜技术与物理=Physics and technology of semiconductor thin films/叶志镇[等]编著.-2版.-杭州：浙江大学出版社，2014 |
| 237页；26cm |
| “十二五”普通高等教育本科国家级规划教材 高等院校材料专业系列规划教材 |
| ISBN 978-7-308-13910-6：CNY36.00 |
| 本书共十章，主要内容有：真空技术、蒸发技术、溅射技术、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、半导体器件制备技术、半导体超晶格和量子阱等。 |
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正题名：半导体薄膜技术与物理
索取号：TN304.055/1=2
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