书目信息 |
题名: |
半导体薄膜技术与物理
|
|
作者: | 叶志镇 编著 | |
分册: | ||
出版信息: | 杭州 浙江大学出版社 2014 |
|
页数: | 237页 | |
开本: | 26cm | |
丛书名: | ||
单 册: | ||
中图分类: | TN304.055 | |
科图分类: | ||
主题词: | 半导体膜--薄膜技术--高等教育--教材 | |
电子资源: | ||
ISBN: | 978-7-308-13910-6 |
000 | 01055nam0 2200265 450 | |
001 | 1670881786 | |
005 | 20161116103253.83 | |
010 | @a978-7-308-13910-6@dCNY36.00 | |
100 | @a20161027d2014 em y0chiy50 ea | |
101 | 0 | @achi |
102 | @aCN@b330000 | |
105 | @ay z 000yy | |
200 | 1 | @a半导体薄膜技术与物理@9ban dao ti bo mo ji shu yu wu li@dPhysics and technology of semiconductor thin films@f叶志镇[等]编著@zeng |
205 | @a2版 | |
210 | @a杭州@c浙江大学出版社@d2014 | |
215 | @a237页@d26cm | |
300 | @a“十二五”普通高等教育本科国家级规划教材 高等院校材料专业系列规划教材 | |
304 | @a编著还有:吕建国、吕斌、张银珠 | |
330 | @a本书共十章,主要内容有:真空技术、蒸发技术、溅射技术、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、半导体器件制备技术、半导体超晶格和量子阱等。 | |
510 | 1 | @aPhysics and technology of semiconductor thin films@zeng |
606 | 0 | @a半导体膜@x薄膜技术@x高等教育@j教材 |
690 | @aTN304.055@v5 | |
701 | 0 | @a叶志镇@9ye zhi zhen@f(1955~)@4编著 |
801 | 0 | @aCN@b郑州日成@c20161027 |
905 | @aZUCC@dTN304.055@e1=2 | |
半导体薄膜技术与物理=Physics and technology of semiconductor thin films/叶志镇[等]编著.-2版.-杭州:浙江大学出版社,2014 |
237页;26cm |
“十二五”普通高等教育本科国家级规划教材 高等院校材料专业系列规划教材 |
ISBN 978-7-308-13910-6:CNY36.00 |
本书共十章,主要内容有:真空技术、蒸发技术、溅射技术、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、半导体器件制备技术、半导体超晶格和量子阱等。 |
● |
相关链接 |
正题名:半导体薄膜技术与物理
索取号:TN304.055/1=2
 
预约/预借
序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
1 | 1679929 | 216799294 | 样本书库/3111380303/ [索取号:TN304.055/1=2] | 在馆 | |
2 | 1679930 | 216799301 | 理科库/3111380303/ [索取号:TN304.055/1=2] | 在馆 | |
3 | 1679931 | 216799310 | 理科库/3111380303/ [索取号:TN304.055/1=2] | 在馆 |