书目信息 |
| 题名： |
集束型晶圆制造装备调度及其优化算法
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| 作者： | 李林瑛 ， 卢睿 著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 电子工业出版社 2017 |
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| 页数： | 328页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN305 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 半导体工艺设备--最优化算法 , 半导体工艺设备--调度 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-121-31227-4 | |
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| 330 | @a本书以集束型晶圆制造装备为研究对象，在全面分析其调度特点及调度方法的基础上，分析集束型晶圆制造装备各类调度问题，运用优化调度方法设计了相应的求解方案。 | |
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| 集束型晶圆制造装备调度及其优化算法/李林瑛，卢睿著.-北京：电子工业出版社，2017 |
| 328页：图；26cm |
| 辽宁省高等学校优秀人才支持计划、辽宁省教育厅科学研究一般项目、大连外国语大学科研基金项目对本书支持 |
| ISBN 978-7-121-31227-4：CNY69.00 |
| 本书以集束型晶圆制造装备为研究对象，在全面分析其调度特点及调度方法的基础上，分析集束型晶圆制造装备各类调度问题，运用优化调度方法设计了相应的求解方案。 |
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| 相关链接 |
正题名：集束型晶圆制造装备调度及其优化算法
索取号：TN305/4
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1794040 | 217940405 | 样本书库/ [索取号:TN305/4] | 在馆 | |
| 2 | 1794041 | 217940414 | 理科库/3111380304/ [索取号:TN305/4] | 在馆 | |
| 3 | 1794042 | 217940423 | 理科库/3111380304/ [索取号:TN305/4] | 在馆 |