书目信息 |
| 题名： |
激光等离子体极紫外光刻光源
|
|
| 作者： | 陶海岩 ， 窦银萍 ， 宋晓伟 著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 国防工业出版社 2018 |
|
| 页数： | 112页 | |
| 开本： | 21cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN305.7 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 激光--等离子体--紫外线--离子刻蚀 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-118-11793-6 | |
| 000 | 01082nam0 2200265 450 | |
| 001 | 1976885644 | |
| 005 | 20191011212205.36 | |
| 010 | @a978-7-118-11793-6@dCNY79.00 | |
| 049 | @aA440000ZSL@bUCS01009571614@c009571614 | |
| 100 | @a20190531d2018 em y0chiy0110 ea | |
| 101 | 0 | @achi |
| 102 | @aCN@b110000 | |
| 105 | @aa z 000yy | |
| 200 | 1 | @a激光等离子体极紫外光刻光源@9ji guang deng li zi ti ji zi wai guang ke guang yuan@b专著@f窦银萍，宋晓伟，陶海岩著 |
| 210 | @a北京@c国防工业出版社@d2018 | |
| 215 | @a112页@c图@d21cm | |
| 330 | @a本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状，并系统阐述激光等离子体光源的相关理论。其次，介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定，最后，详细介绍了工作波长6.7nm极紫外光源离子碎屑特性及其阻挡的实验研究结果。 | |
| 606 | 0 | @a激光@x等离子体@x紫外线@x离子刻蚀 |
| 690 | @aTN305.7@v5 | |
| 701 | 0 | @a陶海岩@9tao hai yan@4著 |
| 701 | 0 | @a窦银萍@9dou yin ping@4著 |
| 701 | 0 | @a宋晓伟@9song xiao wei@4著 |
| 801 | 2 | @aCN@bA440000ZSL @c20190610 |
| 801 | 0 | @aCN@bZSL@c20190531 |
| 905 | @a241250@dTN305.7@e1 | |
| 激光等离子体极紫外光刻光源/窦银萍，宋晓伟，陶海岩著.-北京：国防工业出版社，2018 |
| 112页：图；21cm |
| ISBN 978-7-118-11793-6：CNY79.00 |
| 本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状，并系统阐述激光等离子体光源的相关理论。其次，介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定，最后，详细介绍了工作波长6.7nm极紫外光源离子碎屑特性及其阻挡的实验研究结果。 |
| ● |
| 相关链接 |
正题名：激光等离子体极紫外光刻光源
索取号：TN305.7/1
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1857600 | 218576002 | 样本书库/ [索取号:TN305.7/1] | 在馆 | |
| 2 | 1857601 | 218576011 | 理科库/3111370201/ [索取号:TN305.7/1] | 在馆 | |
| 3 | 1857602 | 218576020 | 理科库/3111370201/ [索取号:TN305.7/1] | 在馆 |