书目信息 |
| 题名： |
硅MEMS工艺与设备基础
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| 作者： | 阮勇 ， 尤政 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 国防工业出版社 2018 |
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| 页数： | 31,463页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | 微米纳米技术丛书 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TH-39 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 硅基材料--纳米材料--应用--微机电系统 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-118-11740-0 | |
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| 硅MEMS工艺与设备基础=Fundamentals of silicon-based MEMS processing techniques and equipments/阮勇，尤政编著.-北京：国防工业出版社，2018 |
| 31,463页：图；24cm.-(微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列) |
| “十二五”国家重点图书出版规划项目 国防科技图书出版基金 |
| ISBN 978-7-118-11740-0：CNY160.00 |
| 本书共分12章，内容包括：MEMS技术与器件发展概述、MEMS工艺与设计规则简介、湿法清洗、氧化、光刻与图形比、薄膜淀积、掺杂、刻蚀工艺、MEMS结构工艺、晶圆键合等。 |
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正题名：硅MEMS工艺与设备基础
索取号：TH-39/47
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