书目信息 |
题名: |
基于MEMS技术的热梯度器件研究
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作者: | 聂金泉 著 | |
分册: | ||
出版信息: | 北京 中国水利水电出版社 2019.04 |
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页数: | 192页 | |
开本: | 24cm | |
丛书名: | ||
单 册: | ||
中图分类: | TM38 | |
科图分类: | ||
主题词: | 微电机--工艺过程设计 | |
电子资源: | ||
ISBN: | 978-7-5170-7299-7 |
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330 | @a本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统,设计了一种新型的梯度加热器,由六个微加热芯片组成,每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元,采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸(宽度和厚度)对温度梯度和功耗的影响,为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。 | |
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基于MEMS技术的热梯度器件研究/聂金泉著.-北京:中国水利水电出版社,2019.04 |
192页:图;24cm |
使用对象:微机电系统技术研究人员 |
ISBN 978-7-5170-7299-7:CNY59.00 |
本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统,设计了一种新型的梯度加热器,由六个微加热芯片组成,每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元,采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸(宽度和厚度)对温度梯度和功耗的影响,为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。 |
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正题名:基于MEMS技术的热梯度器件研究
索取号:TM38/3
 
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序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
1 | 1864397 | 218643975 | 样本书库/4110460202/ [索取号:TM38/3] | 在馆 | |
2 | 1864398 | 218643984 | 理科库/3110850401/ [索取号:TM38/3] | 在馆 | |
3 | 1864399 | 218643993 | 理科库/3110850401/ [索取号:TM38/3] | 在馆 |