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题名:
基于MEMS技术的热梯度器件研究
    
 
作者: 聂金泉 著
分册:  
出版信息: 北京   中国水利水电出版社  2019.04
页数: 192页
开本: 24cm
丛书名:
单 册:
中图分类: TM38
科图分类:
主题词: 微电机--工艺过程设计
电子资源:
ISBN: 978-7-5170-7299-7
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330    @a本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统,设计了一种新型的梯度加热器,由六个微加热芯片组成,每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元,采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸(宽度和厚度)对温度梯度和功耗的影响,为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。
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    基于MEMS技术的热梯度器件研究/聂金泉著.-北京:中国水利水电出版社,2019.04
    192页:图;24cm
    使用对象:微机电系统技术研究人员
    
    ISBN 978-7-5170-7299-7:CNY59.00
    本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统,设计了一种新型的梯度加热器,由六个微加热芯片组成,每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元,采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸(宽度和厚度)对温度梯度和功耗的影响,为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。
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正题名:基于MEMS技术的热梯度器件研究     索取号:TM38/3         预约/预借

序号 登录号 条形码 馆藏地/架位号 状态 备注
1 1864397   218643975   样本书库/4110460202/ [索取号:TM38/3] 在馆    
2 1864398   218643984   理科库/3110850401/ [索取号:TM38/3] 在馆    
3 1864399   218643993   理科库/3110850401/ [索取号:TM38/3] 在馆    
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