书目信息 |
| 题名： |
微机电系统
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| 作者： | 梅涛 ， 伍小平 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 化学工业出版社 2003.01 |
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| 页数： | 197页 | |
| 开本： | 21cm | |
| 丛书名： | 高新技术科普丛书 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TM38-49 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 微电机--普及读物 , 微电机 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 7-5025-4320-1 | |
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| 微机电系统/梅涛,伍小平主编.-北京：化学工业出版社，2003.01 |
| 197页：图, 表格；21cm.-(高新技术科普丛书) |
| 国家科普知识重点图书 |
| ISBN 7-5025-4320-1：CNY15.00 |
| 本书介绍了微机械加工技术、微机电系统的力学问题、微传感器、微执行器、真空微电子器件及典型微系统与应用。 |
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正题名：微机电系统
索取号：TM38-49/1
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| 2 | 351409 | 203514090 | 理科库/3111900105/ [索取号:TM38-49/1] | 在馆 | |
| 3 | 351410 | 203514107 | 理科库/3110820104/ [索取号:TM38-49/1] | 在馆 | |
| 4 | 351411 | 203514116 | 理科库/3110820104/ [索取号:TM38-49/1] | 在馆 | |
| 5 | 351412 | 203514125 | 理科库/3110820104/ [索取号:TM38-49/1] | 在馆 |