书目信息 |
题名: |
MEMS/NEMS谐振器技术
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作者: | 张文明 , 胡开明 著 | |
分册: | ||
出版信息: | 北京 科学出版社 2023 |
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页数: | 475页 | |
开本: | 24cm | |
丛书名: | ||
单 册: | ||
中图分类: | TN629.1 | |
科图分类: | ||
主题词: | 微机电系统--谐振器 | |
电子资源: | ||
ISBN: | 978-7-03-075719-7 |
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MEMS/NEMS谐振器技术/张文明,胡开明著.-北京:科学出版社,2023 |
475页:图;24cm |
ISBN 978-7-03-075719-7(精装):CNY298.00 |
本书共9章,内容包括:绪论、谐振原理与结构设计、谐振器件材料与加工工艺、非线性现象与动力学效应、能量耗散机理与阻尼技术、振动激励与检测原理及技术、通道式MEMS/NEMS谐振器动力学设计与检测技术、弱耦合谐振器设计及传感技术、失效分析与可靠性技术。 |
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正题名:MEMS/NEMS谐振器技术
索取号:TN629.1/2
 
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1 | 1977112 | 219771129 | 样本书库/ [索取号:TN629.1/2] | 在馆 |