书目信息 |
| 题名： |
微电子工艺基础
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| 作者： | 李薇薇 ， 王胜利 ， 刘玉岭 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 化学工业出版社 2007 |
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| 页数： | 257页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN405 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 微电子技术--wei dian zi ji shu--生产工艺 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-5025-9520-3 | |
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| 微电子工艺基础/李薇薇, 王胜利, 刘玉岭编著.-北京：化学工业出版社，2007 |
| 257页：图；26cm |
| ISBN 978-7-5025-9520-3：CNY29.80 |
| 为了使相关读者更深入了解掌握微电子工艺技术的原理，本书前部分主要介绍了集成电路制备工艺中有关的物理、化学知识、第4章至第10章是全书重点，介绍了工艺过程、工艺设备以及IC制备中的新技术、新方法。全书共分10章，主要内容涉及半导体硅材料及化合物的化学性质，高纯水的制备，清洗技术，氧化、扩散、刻蚀、制版、外延、金属化处理、电子封装等主要工艺的原理等。 |
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正题名：微电子工艺基础
索取号：TN405/1
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| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 0818204 | 208182045 | 样本书库/4110480303/ [索取号:TN405/1] | 在馆 | |
| 2 | 0818205 | 208182054 | 理科库/3111370103/ [索取号:TN405/1] | 在馆 | |
| 3 | 0818206 | 208182063 | 理科库/3111370103/ [索取号:TN405/1] | 在馆 | |
| 4 | 0818207 | 208182072 | 理科库/3111370103/ [索取号:TN405/1] | 在馆 | |
| 5 | 0818208 | 208182081 | 理科库/ [索取号:TN405/1] | 在馆 |