书目信息 |
| 题名： |
现代集成电路制造技术原理与实践
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| 作者： | 李惠军 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 电子工业出版社 2009.05 |
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| 页数： | 13,435页 | |
| 开本： | 27cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN405 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 集成电路工艺--高等教育--教材 , 集成电路工艺 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-121-07753-1 | |
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| 现代集成电路制造技术原理与实践/李惠军编著.-北京：电子工业出版社，2009.05 |
| 13,435页：图；27cm |
| 普通高等教育“十一五”国家级规划教材 电子信息与电气学科规划教材·电子科学与技术专业 |
| ISBN 978-7-121-07753-1：CNY49.00 |
| 本书共18章，主要内容包括：硅材料及衬底制备、外延生长工艺原理、氧化介质薄膜生长、半导体的高温掺杂、离子注入低温掺杂、薄膜汽相淀积工艺、图形光刻工艺原理、掩模制备工艺原理、集成电路工艺仿真、集成结构测试图形等。 |
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| 相关链接 |
正题名：现代集成电路制造技术原理与实践
索取号：TN405/3
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| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
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| 2 | 837534 | 208375346 | 理科库/ [索取号:TN405/3] | 在馆 | |
| 3 | 837535 | 208375355 | 理科库/3111370104/ [索取号:TN405/3] | 在馆 | |
| 4 | 837536 | 208375364 | 理科库/3111370104/ [索取号:TN405/3] | 在馆 | |
| 5 | 837537 | 208375373 | 理科库/3111370104/ [索取号:TN405/3] | 在馆 |