书目信息 |
| 题名： |
集成电路制造技术教程
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| 作者： | 李惠军 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 清华大学出版社 2014 |
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| 页数： | 315页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN405 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 集成电路工艺--教材 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-302-37032-1 | |
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| 集成电路制造技术教程=Manufacture technology course of integrated circuit/李惠军编著.-北京：清华大学出版社，2014 |
| 315页：图；26cm |
| ISBN 978-7-302-37032-1：CNY39.00 |
| 本书共分为15章。前9章以常规平面工艺为主要教学内容，包括：集成制造技术基础；硅材料及衬底制备；外延生长工艺原理；氧化介质薄膜生长；半导体的高温掺杂；离子注入低温掺杂；薄膜气相淀积工艺；图形光刻工艺原理等。后6章包括：超大规模集成工艺；集成结构测试图形；电路管芯键合封装等。 |
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正题名：集成电路制造技术教程
索取号：TN405/4
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| 3 | 1609300 | 216093000 | 理科库/3111370104/ [索取号:TN405/4] | 在馆 |