书目信息 |
| 题名： |
纳米集成电路制造工艺
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| 作者： | 张汝京 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 清华大学出版社 2014 |
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| 页数： | 13,433页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN405 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 纳米材料--集成电路工艺 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-302-36027-8 | |
| 000 | 00928nam0 2200229 450 | |
| 001 | 1675657921 | |
| 005 | 20161102083938.17 | |
| 010 | @a978-7-302-36027-8@dCNY69.00 | |
| 100 | @a20161027d2014 em y0chiy50 ea | |
| 101 | 0 | @achi |
| 102 | @aCN@b110000 | |
| 105 | @aa z 000yy | |
| 200 | 1 | @a纳米集成电路制造工艺@9na mi ji cheng dian lu zhi zao gong yi@dNanoscale integrated circuits - the manufacturing process@f张汝京等编著@zeng |
| 210 | @a北京@c清华大学出版社@d2014 | |
| 215 | @a13,433页@c图@d26cm | |
| 330 | @a本书共分19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化，器件参数与工艺相关性等项目和课题。 | |
| 510 | 1 | @aNanoscale integrated circuits - the manufacturing process@zeng |
| 606 | 0 | @a纳米材料@x集成电路工艺 |
| 690 | @aTN405@v5 | |
| 701 | 0 | @a张汝京@9zhang ru jing@4编著 |
| 801 | 0 | @aCN@b郑州日成@c20161027 |
| 905 | @aZUCC@dTN405@e5 | |
| 纳米集成电路制造工艺=Nanoscale integrated circuits - the manufacturing process/张汝京等编著.-北京：清华大学出版社，2014 |
| 13,433页：图；26cm |
| ISBN 978-7-302-36027-8：CNY69.00 |
| 本书共分19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化，器件参数与工艺相关性等项目和课题。 |
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正题名：纳米集成电路制造工艺
索取号：TN405/5
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| 1 | 1667838 | 216678389 | 样本书库/4110480303/ [索取号:TN405/5] | 在馆 | |
| 2 | 1667839 | 216678398 | 理科库/3111370104/ [索取号:TN405/5] | 在馆 | |
| 3 | 1667840 | 216678405 | 理科库/3111370104/ [索取号:TN405/5] | 在馆 |