书目信息 |
| 题名： |
MEMS材料与工艺手册
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| 作者： | 格迪斯 ， 林斌彦 著 ；黄庆安 译 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 南京 东南大学出版社 2014 |
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| 页数： | 14,966页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | 微纳系统系列译丛 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN4-62 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 微电子技术--电子材料--手册 , 微电子技术--生产工艺--手册 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-5641-4053-3 | |
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| MEMS材料与工艺手册=MEMS materials and processes handbook/(美)利萨·格迪斯(Reza Ghodssi)，林斌彦(Pinyen Lin)著/黄庆安等译.-南京：东南大学出版社，2014 |
| 14,966页：图；24cm.-(微纳系统系列译丛) |
| ISBN 978-7-5641-4053-3：CNY198.00 |
| 本书分为14个部分，内容包括：MEMS设计流程、半导体和介质材料的添加工艺、金属材料的添加工艺、聚合物材料的添加工艺、形状记忆合金材料与工艺等。 |
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正题名：MEMS材料与工艺手册
索取号：TN4-62/66
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