书目信息 |
| 题名： |
等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
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| 作者： | 张海洋 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 清华大学出版社 2018 |
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| 页数： | 376页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | 高端集成电路制造工艺丛书 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN405.98 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 大规模集成电路--集成电路工艺--等离子刻蚀 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-302-48959-7 | |
| 000 | 01537nam0 2200277 450 | |
| 001 | 1948640725 | |
| 005 | 20191012133139.14 | |
| 010 | @a978-7-302-48959-7@b精装@dCNY128.00 | |
| 035 | @a(A100000NLC)009511621 | |
| 049 | @aA100000NLC@bUCS01009017315@c009511621@dNLC01 | |
| 100 | @a20180316d2018 em y0chiy0110 ea | |
| 101 | 0 | @achi |
| 102 | @aCN@b110000 | |
| 105 | @aa z 000yy | |
| 200 | 1 | @a等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用@9deng li zi ti shi ke ji qi zai da gui mo ji cheng dian lu zhi zao zhong de ying yong@b专著@dPlasma etching and its application in large scale integrated circuit manufacturing@f张海洋等编著@zeng |
| 210 | @a北京@c清华大学出版社@d2018 | |
| 215 | @a376页@c图，照片@d26cm | |
| 225 | 1 | @a高端集成电路制造工艺丛书 |
| 300 | @a“十三五”国家重点图书出版规划项目 | |
| 330 | @a本书共9章，基于公开文献全方位地介绍了低温等离子体蚀刻技术在半导体产业中的应用及潜在发展方向。以低温等离子体蚀刻技术发展史开篇，对传统及已报道的先进等离子体蚀刻技术的基本原理做相应介绍，随后是占据了全书近半篇幅的逻辑和存储器产品中等离子体蚀刻工艺的深度解读。此外，还详述了逻辑产品可靠性及良率与蚀刻工艺的内在联系，聚焦了特殊气体及特殊材料在等离子体蚀刻方面的潜在应用。最后是先进过程控制技术在等离子体蚀刻应用方面的重要性及展望。 | |
| 510 | 1 | @aPlasma etching and its application in large scale integrated circuit manufacturing@zeng |
| 606 | 0 | @a大规模集成电路@x集成电路工艺@x等离子刻蚀 |
| 690 | @aTN405.98@v5 | |
| 701 | 0 | @a张海洋@9zhang hai yang@4编著 |
| 801 | 2 | @aCN@bOLCC@c20180714 |
| 905 | @a241250@dTN405.98@e1 | |
| 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用=Plasma etching and its application in large scale integrated circuit manufacturing/张海洋等编著.-北京：清华大学出版社，2018 |
| 376页：图，照片；26cm.-(高端集成电路制造工艺丛书) |
| “十三五”国家重点图书出版规划项目 |
| ISBN 978-7-302-48959-7(精装)：CNY128.00 |
| 本书共9章，基于公开文献全方位地介绍了低温等离子体蚀刻技术在半导体产业中的应用及潜在发展方向。以低温等离子体蚀刻技术发展史开篇，对传统及已报道的先进等离子体蚀刻技术的基本原理做相应介绍，随后是占据了全书近半篇幅的逻辑和存储器产品中等离子体蚀刻工艺的深度解读。此外，还详述了逻辑产品可靠性及良率与蚀刻工艺的内在联系，聚焦了特殊气体及特殊材料在等离子体蚀刻方面的潜在应用。最后是先进过程控制技术在等离子体蚀刻应用方面的重要性及展望。 |
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正题名：等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
索取号：TN405.98/1
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1855018 | 218550182 | 样本书库/ [索取号:TN405.98/1] | 在馆 | |
| 2 | 1855019 | 218550191 | 理科库/3111370104/ [索取号:TN405.98/1] | 在馆 | |
| 3 | 1855020 | 218550208 | 理科库/3111370104/ [索取号:TN405.98/1] | 在馆 |