文献检索列表 |
| 序号 | 索取号 | 正题名 | 责任者 | 出版者 | 出版日期 |
| 1 | TN405.98/1 | 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 | 张海洋等编著 | 清华大学出版社 | 2018 |
| 2 | TN405.98/1=2 | 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 | 张海洋等编著 | 清华大学出版社 | 2023 |
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| 序号 | 索取号 | 正题名 | 责任者 | 出版者 | 出版日期 |
| 1 | TN405.98/1 | 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 | 张海洋等编著 | 清华大学出版社 | 2018 |
| 2 | TN405.98/1=2 | 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 | 张海洋等编著 | 清华大学出版社 | 2023 |