书目信息 |
| 题名： |
图解入门——半导体制造工艺基础精讲
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| 作者： | 佐藤淳一 著 ；王忆文 ， 王姝娅 译 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 机械工业出版社 2023 |
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| 页数： | 14,194页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN305-64 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 半导体工艺--图解 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-111-70234-4 | |
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| 图解入门——半导体制造工艺基础精讲/(日)佐藤淳一著/王忆文，王姝娅译.-北京：机械工业出版社，2023 |
| 14,194页；24cm |
| 机工通信 |
| ISBN 978-7-111-70234-4：CNY99.00 |
| 本书共分为12章，包括半导体制造工艺全貌、前段制程概述、清洗和干燥湿法工艺、离子注入和热处理工艺、光刻工艺、刻蚀工艺、成膜工艺、平坦化（CMP）工艺、CMOS工艺流程、后段制程工艺概述、后段制程的趋势、半导体工艺的最新动向。 |
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正题名：图解入门——半导体制造工艺基础精讲
索取号：TN305-64/1
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| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1958832 | 219588328 | 样本书库/ [索取号:TN305-64/1] | 在馆 | |
| 2 | 1958833 | 219588337 | 理科库/ [索取号:TN305-64/1] | 在馆 | |
| 3 | 1958834 | 219588346 | 理科库/ [索取号:TN305-64/1] | 在馆 |