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序号 索取号 正题名 责任者 出版者 出版日期
1 TN405/4   集成电路制造技术教程 李惠军编著   清华大学出版社   2014  
2 TN405/3   现代集成电路制造技术原理与实践 李惠军编著   电子工业出版社   2009.05  
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