文献检索列表 |
| 序号 | 索取号 | 正题名 | 责任者 | 出版者 | 出版日期 |
| 1 | TN405.98/1=2 | 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 | 张海洋等编著 | 清华大学出版社 | 2023 |
| 2 | TN405/9 | 纳米集成电路FinFET器件物理与模型 | (美)萨马·K. 萨哈(Samar K. Saha)著;丁扣 | 机械工业出版社 | 2022 |
| 3 | TN405/7 | 集成电路制造工艺与工程应用 | 温德通编著 | 机械工业出版社 | 2018 |
| 4 | TN405.98/1 | 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 | 张海洋等编著 | 清华大学出版社 | 2018 |
| 5 | TN405/6 | 集成电路制造技术 | 杜中一著 | 化学工业出版社 | 2016 |
| 6 | TN405/4 | 集成电路制造技术教程 | 李惠军编著 | 清华大学出版社 | 2014 |
| 7 | TN405/5 | 纳米集成电路制造工艺 | 张汝京等编著 | 清华大学出版社 | 2014 |
| 8 | TN405/3 | 现代集成电路制造技术原理与实践 | 李惠军编著 | 电子工业出版社 | 2009.05 |
| 9 | TN405/2 | 集成电路制造工艺 | 史小波, 曹艳编著 | 电子工业出版社 | 2007 |